Temгары температуралы вакуум компонентлары
Atылылык белән эшкәртү, нигездә, оксидлашу, диффузия һәм анналь процессларны үз эченә ала.Оксидлаштыру - өстәмә процесс, анда кремний вафиннары югары температуралы мичкә урнаштырыла һәм алар белән реакция өчен кислород кушыла, вафин өслегендә кремний барлыкка килә.Диффузия - матдәләрне югары концентрация өлкәсеннән түбән концентрацияле төбәккә молекуляр җылылык хәрәкәте аша күчерү, һәм диффузия процессы кремний субстратында махсус допинг матдәләрен допинг өчен кулланыла ала, шуның белән ярымүткәргечләрнең үткәрүчәнлеген үзгәртә.